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教你石墨舟的预热及预处理方法

作者:jcadmin 发布时间:2019-07-04 10:52:13

随着石墨舟的不断使用,很多人不知道该怎么使用石墨舟,特别是在预热和预处理时该怎么做,所以小编收集了一些知识要点供大家参考的:

石墨舟的预热

1.烘干后的石墨舟由生产、工艺、设备检查无损坏后,一起将石墨舟进行预热。
2.预热时石墨舟内不放硅片,将需要预热的舟放入空闲的炉管,此炉管不进行工艺,只要手动把真空泵的阀门打开就行了。

石墨圆舟

石墨舟的预处理(镀舟)

将空的石墨舟由生产、工艺、设备确认无异常之后,把石墨舟放进炉管开始进行预处理(镀舟),其他的步骤跟正常的生产工艺都一样,但到“淀积”那一步时将工艺保持一个小时,然后再进行下面的步骤,等到工艺结束,石墨舟从炉管内出来之后,经工艺人员确认之后,这个石墨舟就可以正常使用了。

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