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石墨舟清洗准备工作和流程

作者:jcadmin 发布时间:2019-07-01 10:12:00

石墨舟清洗前准备工作:
(1)石墨舟在使用过程中接近100次时需要操作人员及时检查镀膜情况,出现镀膜异常,需要进行清洗确认。
(2)硅片在石墨舟内正常镀膜颜色为蓝色,片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间颜色差异较大,都为镀膜异常,需要工艺确认异常原因。
(3)由工艺人员对舟的镀膜情况进行分析后,确定石墨舟是否需要清洗以及卡点是否需要更换,生产将需清洗的舟交由设备人员清洗。
(4)石墨舟确定需要清洗后,由设备、生产、工艺三方对石墨舟进行检查, 2.1.5石墨舟损坏后,由生产人员取出舟内所有的硅片,并使用CDA(压缩空气)对石墨舟内碎片进行清理,完毕后设备人员将其抬入已经配好一定比例HF溶液的酸槽中进行清洗。

石墨舟

石墨舟的清洗流程:
(1)打开酸槽排水阀,待废酸排尽,用水枪对酸槽进行冲洗。
(2)关上阀门,将石墨舟放进酸槽中,打开进水阀门,往酸槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止,关闭水阀。然后在酸槽加入HF酸(4瓶),把清洗机的窗户关好,然后开始清洗(要在酸中浸泡6个小时左右)。清洗过程中戴好防酸碱手套,将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净,如果到时间还未洗干净,再继续清洗,直到干净为止。
(3)清洗干净之后,放入水槽,用水枪冲洗后关上排水阀,放水,以水没过舟为准,漂洗一般需2个小时。
(4)清洗完毕后,将石墨舟从水槽中取出,用气枪吹掉表面明显的水珠。
(5)将石墨舟抬入专用烘箱,关上烘箱门锁紧;打开电源开关—风机开关—升温开关—报警开关;温控表设定温度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小时(经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出)。
(6)设定温度20度,一般降温半个小时烘箱里的石墨舟达到常温,可以取出。
(7)将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件,需要更换工艺点的石墨舟,取出后需要入维修间专用货架等待维修。

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